SG15/40 气体发生器
•采用磁力泵定量三乙胺,定量精度高。
•配有防爆加热器,保证三乙胺的良好气化和载流气体的加热。
•通过人机界面,对吹气过程的压力、时间等工艺参数进行设定,并可同时储存不同芯盒的工艺参数。